温室効果ガス分析
温室効果ガス
地球温暖化対策の推進に関する法律（温対法）により特定排出者は自らの温室効果ガスの排出量を報告することになっています。弊社では、GC/MS法やＧＣ法、ＩＣ法により分析を行います。
| 分析項目 | 分析方法 | |
|---|---|---|
| CO2 | 二酸化炭素 | GC/MS、GC、IC 等 |
| CH4 | メタン | |
| N2O | 亜酸化窒素 | |
| HFC | ハイドロフルオロカーボン | |
| PFC | パーフルオロカーボン | |
| SF6 | 六フッ化硫黄 | |
| NF3 | 三フッ化窒素 | |
ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC/MS)
イオンクロマトグラフ分析装置（IC）
半導体工場の排ガス分析（フロンガス）
半導体工場で使用する地球温暖化係数（ＧＷＰ）が高い、フッ素系ガス分析が可能です。
| 分析項目 | 分析方法 | |
|---|---|---|
| 二酸化炭素 | CO2 | GC-FID（メタン化） |
| メタン | CH4 | GC-FID |
| 亜酸化窒素 | N2O | GC-ECD |
| 四フッ化メタン | CF4 | GC/MS |
| 六フッ化エタン | C2F6 | GC/MS |
| トリフルオロメタン | CHF3 | GC/MS |
| ハフッ化プロパン | C3F8 | GC-FID |
| ハフッ化ブタン | C4F8 | GC-FID |
| 六フッ化硫黄 | SF6 | GC-FPD |
| 三フッ化窒素 | NF3 | GC-ECD |
| 水素 | H2 | GC-TCD |
| 一酸化炭素 | CO | GC-FID（メタン化） |
| トリメチルシラン | TMS | GC/MS |
| テトラエトキシシラン | TEOS | GC-FID |
| フッ化水素 | HF | 液体捕集-IC |
| 塩化水素 | HCl | 液体捕集-IC |
| 塩素 | Cl2 | 吸光光度法 |
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