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温室効果ガス分析

温室効果ガス

地球温暖化対策の推進に関する法律(温対法)により特定排出者は自らの温室効果ガスの排出量を報告することになっています。弊社では、GC/MS法やGC法、IC法により分析を行います。
分析項目 分析方法
CO2 二酸化炭素 GC/MS、GC、IC 等
CH4 メタン
N2O 亜酸化窒素
HFC ハイドロフルオロカーボン
PFC パーフルオロカーボン
SF6 六フッ化硫黄
NF3 三フッ化窒素
ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC/MS)
ガスクロマトグラフ質量分析装置(GC/MS)
イオンクロマトグラフ分析装置(IC)
イオンクロマトグラフ分析装置(IC)

半導体工場の排ガス分析(フロンガス)

半導体工場で使用する地球温暖化係数(GWP)が高い、フッ素系ガス分析が可能です。
分析項目 分析方法
二酸化炭素 CO2 GC-FID(メタン化)
メタン CH4 GC-FID
亜酸化窒素 N2O GC-ECD
四フッ化メタン CF4 GC/MS
六フッ化エタン C2F6 GC/MS
トリフルオロメタン CHF3 GC/MS
ハフッ化プロパン C3F8 GC-FID
ハフッ化ブタン C4F8 GC-FID
六フッ化硫黄 SF6 GC-FPD
三フッ化窒素 NF3 GC-ECD
水素 H2 GC-TCD
一酸化炭素 CO GC-FID(メタン化)
トリメチルシラン TMS GC/MS
テトラエトキシシラン TEOS GC-FID
フッ化水素 HF 液体捕集-IC
塩化水素 HCl 液体捕集-IC
塩素 Cl2 吸光光度法

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